近日，深圳市汉诺精密科技有限公司（以下简称汉诺精密）签约入驻企知道科创空间，在科技创新与产业升级方面迈出重要一步。作为国内领先的超高精密运动控制系统创新企业，汉诺精密专注于微米、纳米级运控技术的自主研发与产业化应用，目前已获批国家高新技术企业和深圳市专精特新企业。其中，公司的主导产品“EFEM晶圆前端传输系统”在2023年、2024年分别实现15.85%和21.57%的市场占有率，在设备前端模块（EFEM）细分市场的表现名列前茅。
自主创新筑牢技术壁垒，持续拓展高端装备新赛道
汉诺精密成立于2013年7月，公司扎根粤港澳大湾区，并在苏州、杭州、广州、东莞等地建立了庞大的经销网络，还在武汉设立办事处，未来将加快拓展长三角区域布局。公司围绕中国“智造”高质量发展目标，聚焦精密直驱运动产品的设计与制造，主要产品涵盖压电平台、气浮平台、多轴直线电机平台、EFEM晶圆前端传输系统及传统直线电机模组、HK模组等。在高精密运动控制领域积累了充足的经验，其产品广泛应用于半导体检测及搬运、激光行业、3C行业、面板检测及PCB检测等行业，医疗器械及新能源等领域也有广泛的应用。依托二十余年传动控制及系统集成经验（汉诺母公司成立于2000年），公司已建立起覆盖产品研发、制造、售后与定制化服务的完整技术体系，秉持“脚踏实地，工匠精神”的理念，为客户提供高精度、高可靠、高性能的系统解决方案。
在技术创新驱动下，汉诺精密不断加大研发投入，构筑自身的核心竞争力。公司目前拥有3000平方米厂房和百级无尘车间，并配备主动隔振装置，能够满足高精密产品的量产与装配要求。同时，公司汇聚了一支以哈尔滨工业大学（深圳）机电工程学院博导为核心的专家团队，持续推进技术创新与产品迭代。在研发创新体系的支持下，公司在知识产权方面成果丰硕，目前已获得授权专利35项和软件著作权16项，为公司技术升级和产品创新奠定了坚实基础。
依托深厚的行业积累与持续强化的技术实力，汉诺精密聚焦晶圆传输系统核心技术攻关，持续在架构设计、功能集成及洁净传输等关键环节取得突破。公司主导产品“EFEM晶圆前端传输系统”实现了高集成度与模块化设计，具备灵活配置能力，可根据不同工艺需求，合理搭载多功能模块，显著增强系统适应性。同时，产品在洁净环境控制方面达到国际先进水平，为晶圆转运提供超洁净、无颗粒污染且防静电的运行环境，全面满足先进制程对洁净度的苛刻要求。
EFEM晶圆传输系统
凭借扎实的技术底蕴与创新，汉诺精密成功突破Rorze、DAIHEN、Hirata、Sinfonia、Brooks、Nidec等国际厂商的技术壁垒，加速推进国产设备在高端半导体制造领域的替代进程，为提升我国核心装备自主可控能力注入强劲动能。随着全球半导体产业向高精度、高可靠性方向加速演进，国产替代步伐不断提速，汉诺精密的EFEM晶圆前端传输系统正逐步释放出强劲的市场潜力与竞争优势，助力中国高端制造实现从“跟跑”到“并跑”乃至“领跑”的跨越式发展。
纳米级气浮检测平台
携手企知道科创空间，汉诺科技加速推动半导体核心设备技术突破
汉诺精密与企知道科创空间达成合作，借助其全球6.9亿企业数据及1.9亿专利资源，精准对接半导体产业链上下游。双方将协同创新，优化供应链与市场布局，加速技术升级，共同推动国产高端半导体装备发展。
